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SEM和TEM这两种电子显微镜技术的介绍

作者:admin   时间:2018-07-24 01:20:14

结合SEM和TEM技术:
还有一种电子显微镜技术被提及,它是透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)的结合,即扫描透射电镜(STEM)。 如今,大多数透射电镜(TEM)可以切换到“STEM模式”,用户只需要改变其对准程序。 在扫描透射电镜(STEM)模式下,光束被精确聚焦并扫描样品区域(如SEM),而图像由透射电子产生(如TEM)。
在扫描透射电镜(STEM)模式下工作时,用户可以利用这两种技术的功能; 他们可以在高分辨率先看到样品的内部结构(甚至高于透射电镜TEM分辨率),但也可以使用其他信号,如X射线和电子能量损失谱。 这些信号可用于能量色散X射线光谱(EDX)和电子能量损失光谱(EELS)。 
当然,EDX能谱分析在扫描电镜(SEM)系统中也是常见分析方法,并用于通过检测样品被电子撞击时发射的X射线来识别样品的成分。  
电子能量损失光谱(EELS)只能在以扫描透射电镜(STEM)模式工作的透射电镜(TEM)系统中实现,并能够反应材料的原子和化学成分,电子性质以及局部厚度测量。